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ヘキサポッド6軸モータステージ(検査・評価・試験)

ピーアイ・ジャパン株式会社
<製品の概要表>
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特長

PI社は、サーボモータ駆動による6軸ヘキサポッドステージをご提供します。ヘキサポッドは、サーボモータ駆動による6本足で天板を支えることで高剛性。内蔵位置センサを搭載することで、Subµm分解能を有し、回転中心を任意に設定できる高精度6軸ステージになります。マイクロ部品の位置決め、光学アライメント、天体観測、姿勢制御など多くのアプリケーションに利用されています。

  • 動作軸:XYZθxθyθz軸
  • 耐荷重:5Kg ~ 最大1,000Kg
  • 繰返し精度:±0.1µm~
    • 詳細は、PDFダウンロード、もしくはお問い合わせよりご連絡ください。

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    企業情報

    社名 ピーアイ・ジャパン株式会社
    所在地 〒190-0012 東京都立川市曙町2-38-5 立川ビジネスセンタービル5F
    電話番号 042-526-7300
    企業より 私達ピーアイジャパン株式会社は、ドイツ本社のPI社(Physik Instrumente社)の子会社で、50年以上に渡り、世界中のお客様に精密位置決めピエゾステージ・アクチュエータ・多軸ステージを提供しています。この精密位置決め技術分野では、グローバル市場を常に牽引しています。ほかに多くのリニアモーターステージ、ヘキサポッド、エアベアリングステージなど様々な精密位置決め製品を開発販売しています。

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