超音波モータ（超音波モーター）

20年以上研究・開発を続けている超音波モータのエンジニアにより、長寿命化・高トルク化という超音波モータの持つ相反する2つの課題の解決に取り組んでいます。その結果、従来の超音波モータと比べ長寿命化に成功し、その技術は国内の学会より賞を賜りました。（特許出願中）

高精度・非磁性・高トルクが求められる半導体製造装置用ステージや各種位置決め装置に最適な超音波モータを開発しております。また、原理構成が難しいとされる超音波モータの駆動回路についても精通しており、応答性、制御特性に優れた駆動回路を持つドライバも開発しております。

超音波モータは磁石やコイルを利用せず、圧電セラミックを振動させ、そのエネルギーを駆動力としています。摩擦を利用して回転するため、小型 ・軽量でありながら同サイズのDCモータと比べ約5倍～10倍の高トルクを発揮するモータです。駆動源にコイルや磁石を利用しないため、非磁性モータを構築することができ、MRI内などの高磁場環境や磁場の影響をきらう半導体製造装置内などで安心してご利用いただけます。

また、非通電、非制御で姿勢・状態を保持することができ、バックラッシュがないために装置のダイレクトドライブによる高精度な位置制御が可能です。起動、静止の応答性も高く、ステージなどの搬送装置やカメラの雲台、ジンバル、割り出し装置、多関節ロボットの関節用のモータとして最適です。