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ウェーハ自動剥離装置（産業ロボット）
PHT株式会社
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| ロボットで主に使用する箇所 | ワイヤーソー（スライス）後のウェーハ自動剥離装置です。 |
| 主な導入事例 | 手動での剥離を自動化したいウェーハの情報を管理したい |
| 納期 | お問い合わせください。 |
| 価格 | お問い合わせください。 |
- 納期・価格は随時変動していますので、詳細は『お問い合わせボタン』よりお問い合わせ下さい。
特長
• 独自の制御によるスライド機構。
• 困難だったウェーハー剥離後の洗浄を自動化。
• ワイヤーソーで切断したウェーハをビームから剥離後に枚葉で洗浄し、カセットに収納するまでを全自動でおこないます。
• 低ランニングコストを実現。
• ご使用のインゴットリフターに合わせた設計可能。
• オプションにより、ローダーIDリーダー追加可能。
• オプションにより、アンローダーキャリア部にRFID機能追加可能。
- 詳細は、PDFダウンロード、もしくはお問い合わせよりご連絡ください。
- お問い合わせで
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企業情報
| 社名 | PHT株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 〒115-0045 東京都北区赤羽1-41-12 |
| 電話番号 | 03-6750-5232 |
| 企業より |
対応サイズ：φ4～8″と φ12″ 収納カセット：最大6個（検討可能でございます） 安全機構：カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止 その他お問い合わせください |
