円筒座標型クリーンロボット
製品カタログイメージ

円筒座標型クリーンロボット（産業ロボット）

PHT株式会社
＜製品の概要表＞
項目 詳細
ロボットで主に使用する箇所 クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
主な導入事例 お問い合わせください。
納期 お問い合わせください。
価格 お問い合わせください。
  • 納期・価格は随時変動していますので、詳細は『お問い合わせボタン』よりお問い合わせ下さい。
特長

前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）+ ハンド回転（0～180°）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。

  • 詳細は、PDFダウンロード、もしくはお問い合わせよりご連絡ください。

  • お問い合わせで
    『ノイズ対策本』プレゼント！

企業情報

社名 PHT株式会社
所在地 〒115-0045　東京都北区赤羽1-41-12
電話番号 03-6750-5232
企業より 被搬送物：～300㎜ウェーハ
（その他特殊なワーク、形状、材質へも柔軟にカスタマイズ対応致します）
ウェーハ保持方式：真空吸着・エッジクランプ・エッジホールド

その他お問い合わせください

Robot-tech産業ロボット関連カタログ