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ウェーハ搬送装置（産業ロボット）
PHT株式会社
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| ロボットで主に使用する箇所 | クリーンロボットを応用したシステムです。 |
| 主な導入事例 | 簡易的にウェーハを搬送したい |
| 納期 | お問い合わせください。 |
| 価格 | お問い合わせください。 |
- 納期・価格は随時変動していますので、詳細は『お問い合わせボタン』よりお問い合わせ下さい。
特長
• 省スペース
• 静電気対策型
• 光及び機械センサーでエラーを監視
• マッピングセンサー付き
• FOUP・FOSB・H-Square社製メタルカセットに対応
• クラス10クリーンルーム対応
- 詳細は、PDFダウンロード、もしくはお問い合わせよりご連絡ください。
- お問い合わせで
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企業情報
| 社名 | PHT株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 〒115-0045 東京都北区赤羽1-41-12 |
| 電話番号 | 03-6750-5232 |
| 企業より |
ワーク：半導体基板 ワークサイズ：300㎜ スループット：25枚/1カセット搬送時間 300秒以下 その他お問い合わせください |
