(カタログ)
製品カタログイメージ

静電チャックロボットハンド(ロボットアーム・ハンド)

株式会社クリエイティブテクノロジー
<製品の概要表>
項目 詳細
ロボットで主に使用する箇所 ロボットハンド
主な導入事例 平坦なワークの吸着搬送
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特長

静電チャックは電気的な力でワーク全体を均一に吸着するため、ワークへの物理的な負担が少なく、薄い金属箔やフィルムといった繊細なワークの吸着を得意としております。

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企業情報

社名 株式会社クリエイティブテクノロジー
所在地 〒213-0034 神奈川県川崎市高津区上作延507-1
電話番号 044-853-1757
企業より 静電チャックとは半導体を製造する過程において、基板材料となるシリコンウェハーを大気 ・ 真空を問わず吸着、把持する機器です。近年ではその吸着力を生かし、工場の自動化を促進するための静電気ロボットハンドとして、様々な現場で活躍しています。

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